Компании TNO и Intel недавно продемонстрировали, что луч сфокусированных ионов гелия вполне оправдывает...

Опубликовано: 02.10.2018

Компании TNO и разрабатывают новые технологии восстановления и масок

Существующие технологии устранения небольших, но критических в интегральных схемах и перестанут справляться с точки зрения и точности. Компании TNO и недавно продемонстрировали, что луч ионов вполне оправдывает на него ожидания, нанося точки и линии чистотой в 41 %, что стало рекордом. Доработка технологии ее практическое применение в компаниях, специализирующихся на выпуске интегральных схем.

Описание разработки было опубликовано в издании «Journal of Vacuum Science & Technology-B». был поставлен в г. в Van Leeuwenhoek TNO с использованием гелиоионного микроскопа (HIM) Zeiss. Специалисты TNO характеризировали и оптимизировали новый процесс совместно с компаниями TU-Delft и Zeiss. В во время сотрудничества с TNO, специалисты проанализировали материалы, что позволило внести значительный вклад практических знаний в проект.

В процессе прекурсор — органический содержащий металл — припаивается на поверхность активных частиц. Традиционно используется луч электронов или ионов Электроны позволяют выполнять операцию с большим разрешением, а галлий позволяет осаждать материалы высокой чистоты. Разрешение, лучами ионов гелия, разрешению пучка электронов, при этом чистота металла достигает 41 %, что почти в два раза наилучшие показатели, существовавшие до появления этого

Технология нуждается в дальнейшей оптимизации для использования в процессах ремонта интегральных схем и масок. Ученые видят перспективы для значительного повышения производительности, при этом удерживая количество ионов на достаточно низком уровне, что минимизировать повреждение пластины основания.

Информация с сайта www.ostec-group.ru.

2011-04-20

Панель управления

Навигация

Популярные новости

  • Финанасовая грамотность: инфляиция и ставка рефинансирования ЦБ РФ
      В целях изучения уровня финансовой грамотности населения проводились исследования различными организациями (Национальное агентство финансовых исследований (НАФИ), Фонд «Общественное мнение» по заказу

    АЗБУКА ДЕНЕГ - личные финансы, заработать деньги, семейный бюджет, заработать в интернет - Part 60
    Помните мою недавнюю статью про разные варианты получение рентного дохода? Мне много раз с укоризною говорили , что в моих статьях и книгах про личные финансы и инвестиции все выглядит очень просто. Мне

    Финансы и финансовая система
    Финансы и финансовая система. Глагол «финансировать» означает снабжать, обеспечивать деньгами. Понятие «финансы» охватывает обширную область экономических отношений, связанных с воспроизводством

    Бухгалтерский и финансовый учет
    Объем раздела далеко не отражает всей величины и важности данного вопроса для предприятия. Но настоящая книга не учебник по бухгалтерскому учету, к тому же я не бухгалтер. В этом разделе мы рассмотрим

    Финансы. Финансовая система
    Все темы: Финансы и кредит Процесс денежного обращения можно рассматривать как цепь взаимодействий между субъектами экономики. Эти взаимодействия имеют экономическую природу в виде товарного обмена,

    2.2. Финансы акционерных обществ
    Акционерное общество (АО) — это коммерческая организация, уставный капитал которой разделен на определенное число акций, удостоверяющих обязательственные права участников по отношению к обществу. Имущество акционерного

    Финансы домашних хозяйств
    В макроэкономическом анализе под домашним хозяйством понимают группу лиц, совместно принимающих экономические решения. В системе экономических отношений домашние хозяйства исключительно важны, поскольку

    Финансы домашних хозяйств
    В макроэкономическом анализе под домашним хозяйством понимают группу лиц, совместно принимающих экономические решения. В системе экономических отношений домашние хозяйства исключительно важны, поскольку

    Финансы домашних хозяйств
    В макроэкономическом анализе под домашним хозяйством понимают группу лиц, совместно принимающих экономические решения. В системе экономических отношений домашние хозяйства исключительно важны, поскольку

    Актуальность темы исследования
    Ермолов Кирилл Владимирович Харьковский гуманитарный университет «НУА»   ВЫБОР СТРАТЕГИИ ФИНАНСИРОВАНИЯ В БИЗНЕС ПЛАНИРОВАНИИ   Актуальность темы исследования. Одним из необходимых

  • rss